[发明专利]电子枪、真空处理装置有效
| 申请号： | 201080041421.9 | 申请日： | 2010-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102484024A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 渡边将也;楠本淑郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | H01J37/063 | 分类号： | H01J37/063;C23C14/30;H01J29/48;H01J37/065 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 毛立群;王忠忠 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的电子枪的特征在于，在比阳极电极（23）靠近发射口（13）侧具备被施加了相对于阳极电极（23）为正电压的推斥电极（24），所述推斥电极（24）将通过电子束与残留气体的碰撞而产生的沿着中心轴线（28）向阴极电极（21）方向行进的正离子向真空槽（18）侧推回。由于所述推斥电极（24）是圆筒形形状，所以不使电子束的轨道弯曲。此外，由于在所述推斥电极（24）形成有许多细孔，所以推斥电极（24）内的气体通过所述细孔而被真空排气。由此，能够提供防止正离子入射到阴极电极（21）的长寿命的电子枪。 | ||
| 搜索关键词： | 电子枪 真空 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种电子枪，其中，具有：阴极电极，其被加热并发射热电子；维纳尔电极，对从所述阴极电极发射的电子束进行会聚；阳极电极，具有阳极孔，相对于所述阴极电极而被施加正电压，所述热电子作为电子束而通过所述阳极孔；推斥电极，相对于所述阳极电极而被施加正电压，设置在所述阳极电极与发射所述电子束的发射口之间，使所述电子束沿着中心轴线而通过；以及发射口，将通过了所述推斥电极的所述电子束发射。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱发科，未经株式会社爱发科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080041421.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
