[发明专利]测力传感器无效
| 申请号： | 201080041106.6 | 申请日： | 2010-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN102510998A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 平山元辉;梅津英治;石曾根昌彦 | 申请（专利权）人： | 阿尔卑斯电气株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;H01L29/84 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供以简单的结构实现低高度化的测力传感器。该测力传感器具备：变位部，其由规定厚度的硅基板构成；受压部，其位于硅基板的表面且承受来自外部的载荷；多个压电电阻元件，其配置在成为该受压部的相反侧的硅基板的背面上，且其电阻根据变位部的变位量而发生变化；多个电连接支承部，其突出形成在硅基板的背面上，与多个压电电阻元件分别电连接，并且在比该多个压电电阻元件靠周缘侧的位置将变位部支承成变位自如。 | ||
| 搜索关键词： | 测力 传感器 | ||
【主权项】：
一种测力传感器，其特征在于，具备：变位部，其由规定厚度的硅基板构成；受压部，其位于所述硅基板的表背面的一方且承受来自外部的载荷；多个压电电阻元件，其配置在成为该受压部的相反侧的所述硅基板的表背面的另一方上，且其电阻根据所述变位部的变位量而发生变化；多个电连接支承部，其突出形成在所述硅基板的表背面的另一方上，与所述多个压电电阻元件分别电连接，并且在比该多个压电电阻元件靠周缘侧的位置将所述变位部支承成变位自如。
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