[发明专利]喷墨可印刷的蚀刻油墨及相关方法有效
| 申请号： | 201080040984.6 | 申请日： | 2010-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN102498188A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | O·多尔;E·普鲁默;M·詹姆斯;I·科勒;L·南森 | 申请（专利权）人： | 默克专利股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 邓毅 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及将新的蚀刻组合物无接触地沉积到半导体器件表面上的方法，以及涉及随后的对位于这些半导体器件顶部的功能层进行蚀刻的方法。所述功能层可以作为表面钝化层和/或抗反射涂层(ARC)。 | ||
| 搜索关键词： | 喷墨 可印刷 蚀刻 油墨 相关 方法 | ||
【主权项】：
蚀刻组合物，其包含至少具有通式R1R2R3R4N+F‑的季铵氟化物盐的水溶液，其中R1表示‑CHYa‑CHYbYc，其由其中氮连接键中的两个、三个或者四个形成环或环体系的一部分的基团构成和Ya、Yb和Yc表示H、烷基、芳基、杂芳基，R2、R3和R4彼此独立地为R1或者烷基、烷基氟化铵、芳基、杂芳基或者‑CHYa‑CHYbYc，条件是通过消去‑CHYa‑CHYbYc中的H产生挥发性分子。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于默克专利股份有限公司，未经默克专利股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080040984.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
