[发明专利]新的化合物及其制造方法、含有该新的化合物的射线敏感性组合物以及固化膜有效
| 申请号： | 201080038065.5 | 申请日： | 2010-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN102482240A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 岩泽晴生;一户大吾 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | C07D295/10 | 分类号： | C07D295/10;G03F7/031;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
一种化合物，其具有相同或不同的下述式(1’)所表示的多个基团。 |
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| 搜索关键词： | 化合物 及其 制造 方法 含有 射线 敏感性 组合 以及 固化 | ||
【主权项】：
1.一种化合物，其具有相同或不同的下述式(1’)所表示的多个基团，![]()
(式(1’)中，R1和R2各自独立地为碳原子数为1～6的烷基，n为1～6的整数)。
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