[发明专利]薄膜导电层和钝化层的图案化无效
| 申请号： | 201080037611.3 | 申请日： | 2010-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN102483660A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 康盛球;黄丽丽 | 申请（专利权）人： | 苹果公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 陈新 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了薄膜的导电层和钝化层的简化图案化。在一些实施例中，图案化可以包括在薄膜衬底上沉积导电层，在导电层上沉积钝化层，应用包括期望图案的可移除掩模至钝化层，以及图案化钝化层以具有期望图案，使用图案化的钝化层作为用于导电层的掩模，以及图案化导电层以具有期望图案。在其它实施例中，图案化可以包括在薄膜衬底上沉积导电层，在导电层上沉积钝化层，在钝化层上沉积保护层，应用具有期望图案的可移除掩模至保护层，图案化保护层以具有期望图案，使用图案化的保护层作为用于钝化层和导电层的掩模，以及图案化钝化层和导电层以具有期望图案。使用这样图案化的薄膜的示例性装置可以包括触摸传感器面板。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 导电 钝化 图案 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：在表面上沉积导电层；在导电层上沉积钝化层；应用包括图案的可移除掩模至钝化层；图案化钝化层以具有所述图案；将图案化的钝化层提供作为用于导电层的掩模；以及图案化导电层以具有所述图案。
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