[发明专利]利用受激氮-氧类进行的金属氧化物薄膜沉积的系统和方法

摘要

描述了其中在反应室中的衬底上沉积薄膜的系统和方法。在示例性方法中，所述方法可包括对衬底施加原子层沉积循环，其中，所述循环可包括使所述衬底与前体气体接触前体脉冲时间，然后除去所述前体气体，并使所述衬底与包含氧化剂气体和含氮类气体的氧化剂接触氧化脉冲时间，然后除去氧化剂。本发明的各方面利用分子和受激氮-氧自由基/离子形式，可能还与氧化剂如臭氧组合。本发明的实施方式也包含电子元件，以及包括使用按照本发明的方法制造的器件的系统。

主权项

一种在位于反应室内的衬底上沉积薄膜的方法，该方法包括对衬底施加原子层沉积循环，该循环包括：使衬底与前体气体接触前体脉冲时间，随后去除该前体气体；以及使该衬底与包含氧化剂气体和含氮类气体的氧化剂接触氧化脉冲时间，随后去除该氧化剂。