[发明专利]纳米粒子的制造无效
申请号: | 201080036596.0 | 申请日: | 2010-06-30 |
公开(公告)号: | CN102753720A | 公开(公告)日: | 2012-10-24 |
发明(设计)人: | 拉尔斯·埃勒斯;阿里斯泰尔·基安;托马斯·马修·韦恩-鲍威尔 | 申请(专利权)人: | 曼蒂斯沉积物有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 顾红霞;段斌 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 英国;GB |
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摘要: | 本发明公开了一种制造复合纳米粒子的加工装置,该装置包括移动具有第一材料和第一尺寸的纳米粒子(10)的带电电源部、在纳米粒子的路径的区域(42)中施加相同电势的装置、以及朝向所述区域且具有第二材料的物理气相淀积源(PVD)(40),以便制造具有更大的第二尺寸且为第一和第二材料的合成物的纳米粒子。施加相同电势的装置可以包括围绕纳米粒子路径且分别具有连续减小的电势的一个或多个导电环(28)。物理气相淀积源可以是一个或多个溅射靶,或者蒸发源,或者其它PVD源。可以存在多个物理气相淀积源,以使淀积壳的区域更大。为了得到均一的壳,所有的物理气相淀积源可以淀积相同的材料。作为选择,不同的源能够形成复式壳或合金壳。 | ||
搜索关键词: | 纳米 粒子 制造 | ||
【主权项】:
一种纳米粒子加工装置,其包括一个充电的、移动的纳米粒子的源,所述纳米粒子具有第一材料和第一尺寸、在所述纳米粒子的路径的区域中施加相同电势的装置、以及朝向所述区域且具有第二材料的物理气相淀积源,以便制造具有更大的第二尺寸且为第一和第二材料的合成物的纳米粒子。
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