[发明专利]固体摄像元件

摘要

在嵌入式的光电二极管的受光面的端部隔着输送栅电极(12)形成浮动扩散区域(13)。在大致扇形形状的受光面中，设置以浮动扩散区域(13)为中心的具有放射状的延伸部的第一区域(111)和其外侧的第二区域(112)，导入导电型与第一区域(111)所收集的信号电荷相同的杂质，由此能够通过三维电场效应形成使信号电荷从放射状的延伸部朝向中心的电场。其结果是，能够缩短电荷的输送时间。另外，能够与浮动扩散区域(13)相邻地设置下一级电路元件，因此能够减小浮动扩散区域(13)的寄生电容，能够实现高灵敏度的元件。由此，在与以100万帧/秒左右以上的极高速度进行摄影相对应的固体摄像元件中，能够无损于摄影的高速性地提高检测灵敏度、信噪比。

主权项

一种固体摄像元件，在半导体衬底上具备多个像素，各像素至少具有光电二极管、浮动扩散区域以及输送晶体管，该光电二极管接收光而生成光电荷，该浮动扩散区域收集并保持由上述光电二极管所生成的电荷，该输送晶体管为了将电荷从上述光电二极管输送至上述浮动扩散区域而在该光电二极管与该浮动扩散区域之间具有栅极，该固体摄像元件的特征在于，上述浮动扩散区域配置在上述光电二极管的受光面的端部，在该光电二极管的受光面中，处于以上述浮动扩散区域为中心描绘的第一圆弧的内侧且处于输送栅极的外侧的整个区域和从该第一圆弧向外部放射状地延伸且顶端与第二圆弧相接的多个延伸部的内侧的区域形成为导电型与所收集的信号电荷相同的区域，其中，该第二圆弧与上述第一圆弧呈同心圆状。