[发明专利]用于探针尖端直径校准的方法和装置

摘要

一种用于以改进的精度和可靠性确定探针尖端直径的方法，其包括在坐标测量机器的臂位于不同机器位置的情况下，执行多次用于确定探针尖端直径的过程。与每次校准过程相关联的直径值可以以提供更准确的直径测量结果的方式组合。

主权项

一种确定经由探针柄安装到坐标测量机器的臂的探针尖端的直径的方法，所述臂能够在x轴方向、y轴方向和z轴方向中的每个方向上在所述坐标测量机器的测量空间内移动，其中所述x轴方向、所述y轴方向和所述z轴方向均彼此正交，所述探针柄能够移动到相对于所述臂的不同的角位置，所述方法包括：在所述探针柄位于相对于所述臂的第一角位置的情况下，通过使用校准件执行校准过程来确定所述探针尖端的第一直径测量结果，其中至少在用于确定所述第一直径测量结果的校准过程期间的一个接触点处，所述臂位于沿所述x轴方向的第一x轴位置、沿所述y轴方向的第一y轴位置和沿所述z轴方向的第一z轴位置；将所述探针柄移动到与所述第一角位置不同的、相对于所述臂的第二角位置；在所述探针柄位于相对于所述臂的所述第二角位置的情况下，通过使用所述校准件执行校准过程来确定所述探针尖端的第二直径测量结果，其中至少在与用于确定所述第一直径测量结果的校准过程期间的至少一个接触点对应的、用于确定所述第二直径测量结果的校准过程期间的一个接触点处，所述臂位于沿所述x轴方向的第二x轴位置、沿所述y轴方向的第二y轴位置和沿所述z轴方向的第二z轴位置，所述第二x轴位置、所述第二y轴位置和所述第二z轴位置中的至少两个分别与所述第一x轴位置、所述第一y轴位置和所述第一z轴位置不同；以及对所述第一直径测量结果和所述第二直径测量结果取平均以确定所述探针尖端的直径。