[发明专利]薄膜电容器及其制造方法有效
| 申请号： | 201080029276.2 | 申请日： | 2010-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN102460619A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | J·C·费格罗亚;D·F·里尔顿 | 申请（专利权）人： | 纳幕尔杜邦公司 |
| 主分类号： | H01G4/33 | 分类号： | H01G4/33;H01G4/002 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王伦伟;李炳爱 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了制造电容器的方法。在所述方法中，可在金属(例如镍)基板上形成电介质，并且在其上形成铜电极，然后自其未涂布面将所述金属基板蚀薄，随后在所述基板蚀薄的未涂布面上形成铜电极。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 电容器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
制备电容器的方法，所述方法包括(a)提供具有第一表面和第二表面的非铜金属基板；(b)将电介质材料沉积在所述金属基板的第一表面上以在第一表面上形成介电层；(c)将导电材料沉积在所述介电层上以在所述介电层上形成电极；(d)将金属从所述金属基板的第二表面上移除以降低所述金属基板的厚度；以及(e)将导电材料沉积在所述金属基板的第二表面上以在所述第二表面上形成电极。
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