[发明专利]基板检查装置

摘要

本发明提供一种基板检查装置。该基板检查装置能够迅速且正确地判断安装在面板基板周缘部的电子部件的安装状态的好坏，也能够容易地应对面板的大型化。该基板检查装置包括：移动台(1)，其使隔着各向异性导电膜安装有电子部件的透明的面板基板(10)(工件W)移动至预定的检查位置并定位；摄像部件(2)，其从安装有电子部件的面的背面侧透过上述基板(10)拍摄检查对象部位；线性驱动部件(3)，其用于使该摄像部件(2)沿着各检查对象部位滑动；信息处理部件，其用于判断上述拍摄到的检查对象部位的安装状态的好坏；以至少一个基板端部向侧方突出的状态，将基板(10)载置在上述移动台(1)的上表面(1a)，在上述摄像部件(2)的附近配设从下侧支承自上述移动台(1)突出的基板(10)的端部的固定台(4)。

主权项

一种基板检查装置，其特征在于，包括：移动台，其用于将透明的面板基板载置在该移动台的上表面而移动至预定的检查位置，并对该基板进行定位，该面板基板在端部附近的多个位置隔着各向异性导电膜安装有电子部件；摄像部件，其用于从检查对象部位的安装有电子部件的一面的背面侧透过上述基板拍摄安装有该电子部件的该检查对象部位，并获取该部位的微分干涉图像；线性驱动部件，其用于使该摄像部件沿着定位在上述检查位置的基板的各检查对象部位滑移；以及信息处理部件，其用于根据由上述摄像部件得到的图像数据来判断拍摄到的检查对象部位的安装状态的好坏；以包含上述检查对象部位的至少一个基板端部向上述移动台的侧方突出的状态，将上述基板载置在上述移动台的上表面，在上述摄像部件的附近配设有固定台，该固定台用于从下侧支承自上述移动台突出的基板端部。