[发明专利]用于确定镀敷金属的基底上的缎面效果的方法无效
| 申请号： | 201080023797.7 | 申请日： | 2010-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN102449463A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | S·诺伊曼 | 申请（专利权）人： | 安美特德国有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/57 | 分类号： | G01N21/57 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张懿;卢江 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： |
本申请的主题是用于确定镀敷金属的基底上的缎面效果的方法，该方法包括以下步骤：i)用光照射样本，ii)检测散射光的强度分布，iii)确定以下参数中的至少一个：-所述强度分布的Aq值，其中所述Aq值表示与器件常数k相乘的、反向散射光角度 |
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| 搜索关键词： | 用于 确定 金属 基底 缎面 效果 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定镀敷金属的基底上的缎面效果的方法，所述方法包括以下步骤：i)用光照射样本，ii)检测散射光的强度分布，iii)确定以下参数中的至少一个：-所述强度分布的Aq值，其中所述Aq值表示与器件常数k相乘的、反向散射光角度![]()
的方差，以及-所述强度分布的积分强度，iv)将所述至少一个参数与目标值比较。
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