[发明专利]测量双折射的测量方法和测量系统

摘要

在用于测量光学测量对象的双折射的测量方法中，产生具有规定的输入偏振态的测量光束，该测量光束被引导到测量对象上，并检测测量光束在与测量对象相互作用之后的偏振特性，以产生表示测量光束在与测量对象相互作用之后的输出偏振态的偏振测量值。根据角度参数α的周期调制函数将测量光束的输入偏振态调制为至少四个不同测量状态，并处理与至少四个测量状态相关联的偏振测量值，以形成依赖于角度参数α的测量函数。为了评估偏振测量值，确定测量函数的双波部分。分析该双波部分以导出描述双折射的至少一个双折射参数。为此目的，优选执行测量函数的双傅立叶变换。

主权项

一种用于测量光学测量对象的双折射的测量方法，包括：产生具有规定的输入偏振态的测量光束，所述测量光束被引导到所述测量对象上，所述输入偏振态为所述测量光束在所述测量光束进入所述测量对象即刻之前的偏振态；检测所述测量光束在与所述测量对象相互作用之后的偏振特性，以产生偏振测量值，所述偏振测量值表示所述测量光束在与所述测量对象相互作用之后的输出偏振态；评估所述偏振测量值，以确定表示所述测量对象的双折射的至少一个双折射参数；其特征在于以下步骤：根据角度参数α的周期调制函数，将所述测量光束的所述输入偏振态调制为至少四个不同测量状态；处理与所述至少四个测量状态相关联的所述偏振测量值，以形成依赖于所述角度参数α的测量函数；确定所述测量函数的双波部分；分析所述双波部分，以导出所述至少一个双折射参数。