[发明专利]用于产生针对晶片的检查过程的方法和系统

摘要

本发明提供了用于产生针对晶片的检查过程的方法和系统。一种计算机实现的方法包括基于会在晶片的设计内的不同部位造成至少一种类型的故障机制的缺陷，分别确定针对所述不同部位的局部属性值。所述方法还包括基于所述局部属性值确定灵敏度，将采用所述灵敏度针对与所述设计内的所述不同部位对应的晶片上的不同部位报告缺陷。另外，所述方法包括基于所确定的所述灵敏度产生针对所述晶片的检查过程。可以基于所述局部属性值产生组，由此把将具有至少近似噪声统计的像素分配到同一组，这对于缺陷检测算法将会是重要的。更好的分段可以导致更好的噪声统计估计。

主权项

一种计算机实现的方法，所述方法用来产生针对晶片的检查过程，所述方法包括：基于会在所述晶片的设计内的不同部位造成至少一种类型的故障机制的缺陷，分别确定针对所述不同部位的局部属性值；基于所述局部属性值确定灵敏度，将采用所述灵敏度针对与所述设计内的所述不同部位对应的所述晶片上的不同部位报告缺陷；以及基于所确定的所述灵敏度产生针对所述晶片的检查过程。