[发明专利]涂覆用于机械系统的具有高摩擦性能的微机械部件的方法有效
| 申请号： | 201080020732.7 | 申请日： | 2010-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN102421936A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | D.施泰因米勒;D.施泰因米勒;H.德雷克塞尔;S.戈德巴内;D.理查德;P.库辛 | 申请（专利权）人： | 斯沃奇集团研究及开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 韦欣华;杨思捷 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 一种涂覆微机械系统，特别是钟表机芯，的微机械元件的方法，其包括：提供待涂覆的基材（4）元件；给所述元件提供金刚石涂层（1）；其中金刚石涂层通过在反应室中用CVD（化学气相淀积）提供；并且，在化学气相淀积中，在生长过程的最后部分期间，在反应室内提供碳含量的受控改变，由此在表面附近提供sp2/sp3碳键（2）的变化。也提供了相应的微机械元件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 机械 系统 具有 摩擦 性能 微机 部件 方法 | ||
【主权项】：
涂覆微机械系统，特别是钟表机芯，的微机械元件的方法，其包括：‑提供待涂覆的基材（4）元件；‑给所述元件提供金刚石涂层（1）；其中：‑金刚石涂层（1）通过化学气相淀积在反应室中提供；‑在化学气相淀积中，在生长过程的最后部分期间，在反应室内提供碳含量的受控改变，由此在表面附近提供sp2/sp3碳（2）键的变化。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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