[发明专利]含氮硅烷化合物粉末及其制造方法有效
申请号: | 201080015350.5 | 申请日: | 2010-03-30 |
公开(公告)号: | CN102365232A | 公开(公告)日: | 2012-02-29 |
发明(设计)人: | 西尾正幸;新居田贞夫;岛川敏弘 | 申请(专利权)人: | 宇部兴产株式会社 |
主分类号: | C01B21/082 | 分类号: | C01B21/082 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 王永红 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的是提供一种无需有机溶剂回收工序或小型化,同时表观密度高的含氮硅烷化合物,不经过加压成型等追加的工序,提高氮化硅制造工序的生产效率。使卤化硅烷化合物与液体氨进行反应,用液体氨洗涤、干燥得到的主要含硅二酰亚胺的含氮硅烷化合物粉末,干燥后的表观密度为0.10~0.30g/cm3,优选含有的卤成分浓度以重量基准为100ppm以下的含氮硅烷化合物粉末。使卤化硅烷化合物与液体氨进行混合反应时,卤化硅烷化合物作为无溶剂或卤化硅烷化合物浓度为50体积%以上的惰性有机溶剂的溶液,从液体氨中设置的供给口喷出、供给的含氮硅烷化合物粉末的制造方法。通过惰性气体导入反应器内,该反应器内压力比该反应器内含有的反应混合物的温度时的液体氨的蒸气压保持高0.5MPa以上是优选的。 | ||
搜索关键词: | 硅烷 化合物 粉末 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
含氮硅烷化合物粉末,其特征在于,其为使卤化硅烷化合物与液体氨反应,用液体氨进行洗涤,干燥而得到的含氮硅烷化合物粉末,上述干燥后的表观密度为0.10~0.30g/cm3。
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