[发明专利]使用超声的气体感测有效
| 申请号： | 201080013278.2 | 申请日： | 2010-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN102362178A | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | M·谢莱肯斯;J·A·H·M·卡尔曼;M·B·范德马克;P·迪克森;H·W·范克斯特伦 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01N33/497;G01N29/02;G01N29/024;B06B1/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王英;刘炳胜 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种用于气体的传感器芯片(1030)，其具有用于发射和接收超声的单元(200)，并且被配置成用于足够大的频率范围以及用于基于所述范围内的至少两个响应测量所述气体成分中的至少一种的浓度。所述频率范围能够通过改变单元膜片(230)的大小、改变偏置电压和/或改变cMUT或MEMS微音器阵列(205)的空气压力来实现。所述传感器芯片能够应用于例如二氧化碳分析中。一种测量空气室(515)，其在呼吸路径(400)中实施，并且其和/或所述路径可以被设计成降低呼出气息(120)中易影响超声拾取的湍流。所述芯片(1030)能够以监测参数自足的方式实施，避免对片外传感器的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 超声 气体 | ||
【主权项】：
一种用于包含多种成分的气体的传感器芯片(1030)，所述芯片配置有用于发射和接收超声的多个单元(200)，所述传感器芯片被配置成用于足够大的频率范围以及用于基于所述范围内的至少两个响应测量多种气体成分中的至少一种的浓度。
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