[发明专利]沟槽加工工具及使用该沟槽加工工具的薄膜太阳电池的沟槽加工方法及划线装置有效
| 申请号： | 201080009004.6 | 申请日： | 2010-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN102325621A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 曾山正信 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23D13/00 | 分类号： | B23D13/00;B28D5/04;H01L31/04 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 孟锐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 为了提供一种可高良率地制造集成型薄膜太阳电池的太阳电池的制造方法、沟槽加工工具，使沟槽加工工具(8)的刃尖部分(81)的底面(83)的形状为沿着移动方向细长地延伸的长方形，底面(83)与位于沿着移动方向的轴线上的刃尖部分的前侧面(84)及后侧面(85)相交成直角，所述角部形成为刃尖(86、87)，且刃尖部分的左右侧面平行地形成，使用所述形状的沟槽加工工具(8)，在进行图案化时的刃尖部分的前侧面(84)或后侧面(85)与基板(W)的上侧面所成的角度为50度～80度的范围内向前进方向侧倾斜而进行加工。 | ||
| 搜索关键词： | 沟槽 加工 工具 使用 薄膜 太阳电池 方法 划线 装置 | ||
【主权项】：
一种集成型薄膜太阳电池用的沟槽加工工具，其特征在于：包含棒状的本体与形成在本体的前端的刃尖区域，刃尖区域包含细长地延伸的长方形的底面、从底面的宽度方向的端边立起的前侧面及后侧面、以及从底面的长度方向的端边呈直角地立起而形成相互平行的一对面的左、右侧面，至少由前后侧面中的任一单面与底面所形成的角部成为刃尖。
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