[发明专利]红外滤光器及红外滤光器的制造方法无效
| 申请号： | 201080008666.1 | 申请日： | 2010-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN102326104A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 平井孝彦;北村启明;稻叶雄一;渡部祥文;西川尚之;园孝浩 | 申请（专利权）人： | 松下电工株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;C23C14/06;G02B5/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 蔡胜有;吴鹏章 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的红外滤光器包括由红外透射材料形成的衬底和在衬底的一个表面侧上并排排列的多个过滤部件。各过滤部件包括：第一λ/4多层膜，其中将两种具有相互不同的折射率但相同的光学膜厚度的薄膜交替堆叠；第二λ/4多层膜，其中将两种薄膜交替堆叠，所述第二λ/4多层膜在第一λ/4多层膜的与衬底侧的相反侧上形成；和置于第一λ/4多层膜和第二λ/4多层膜之间的波长选择层，其中根据所需选择波长，所述波长选择层具有与其他薄膜的光学膜厚度不同的光学膜厚度。第一λ/4多层膜和第二λ/4多层膜的低折射率材料由氧化物构成，且其高折射率材料由Ge所形成的半导体材料构成。波长选择层的材料与第一λ/4多层膜的次顶层薄膜的材料相同。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 滤光 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种红外滤光器，包括：由红外透射材料形成的衬底；和在所述衬底的一个表面侧上并排设置的多个过滤部件，其中各过滤部件包括：其中两种具有相互不同折射率但相同光学膜厚度的薄膜交替堆叠的第一λ/4多层膜；其中所述两种薄膜交替堆叠的第二λ/4多层膜，所述第二λ/4多层膜在所述第一λ/4多层膜的与衬底侧的相反侧上形成；以及介于所述第一λ/4多层膜和所述第二λ/4多层膜之间的波长选择层，所述波长选择层根据所需的选择波长而具有不同于各薄膜的光学膜厚度的光学膜厚度，其中所述第一λ/4多层膜和所述第二λ/4多层膜的低折射率材料为氧化物且其高折射率材料为半导体材料Ge，和其中所述波长选择层的材料与所述第一λ/4多层膜的次顶层薄膜的材料相同。
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