[发明专利]二氧化硅容器及其制造方法

摘要

本发明是一种二氧化硅容器的制造方法，其包含：制成混合粉的工序，其在二氧化硅粒子即第一原料粉中，添加铝化合物或结晶核剂而制成混合粉；暂时成形的工序，其一边使具有减压用孔的外模框旋转，一边导入混合粉至外模框的内壁，暂时成形为规定形状；形成二氧化硅基体的工序，其通过将暂时成形体从外周侧减压而脱气，并从暂时成形体的内侧进行高温加热，来将暂时成形体的外周部分制成烧结体，并将内侧部分制成熔融玻璃体而形成二氧化硅基体；及形成透明二氧化硅玻璃层的工序，其一边从二氧化硅基体的内侧喷撒其二氧化硅纯度比第一原料粉高的第二原料粉，一边从内侧进行高温加热，由此，在二氧化硅基体的内表面形成透明二氧化硅玻璃层。由此，能提供一种二氧化硅容器的制造方法，其以廉价而比较低质量的二氧化硅粉末作为主原料，并且以投入能量较少、低成本的方式来制造高尺寸精确度、高耐久性、低放出气体性的二氧化硅容器。

主权项

一种二氧化硅容器的制造方法，是以二氧化硅作为主要构成成分且具有旋转对称性的二氧化硅容器的制造方法，其特征在于，至少包含：制成混合粉的工序，其在二氧化硅粒子即第一原料粉中，添加铝化合物和成为结晶核剂而用于二氧化硅玻璃的结晶化的化合物粉中的至少任一种而制成混合粉；制成暂时成形体的工序，其一边使具有旋转对称性且在内壁配设有减压用孔而形成的外模框旋转，一边导入前述混合粉至前述外模框的内壁，将前述混合粉按照前述外模框的内壁，暂时成形为规定形状而制成暂时成形体；形成二氧化硅基体的工序，其通过形成于前述外模框的减压用孔来进行减压，由此，将前述暂时成形体从外周侧减压而脱气，并通过放电加热熔融法而从前述暂时成形体的内侧进行高温加热，来将前述暂时成形体的外周部分制成烧结体，并将内侧部分制成熔融玻璃体而形成二氧化硅基体；及形成透明二氧化硅玻璃层的工序，其一边从前述二氧化硅基体的内侧喷撒由结晶质二氧化硅所构成且其二氧化硅纯度比前述第一原料粉高的第二原料粉，一边通过放电加热熔融法从内侧进行高温加热，由此而在前述二氧化硅基体的内表面形成透明二氧化硅玻璃层。