[实用新型]三氯氢硅尾气回收装置无效
| 申请号： | 201020701284.4 | 申请日： | 2010-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN201949786U | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 宋宜华 | 申请（专利权）人： | 淄博宝运化工厂 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18;B01D53/047;C01B7/01;C01B3/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置，具体是一种三氯氢硅尾气回收装置，其特征是，包括采用气体管路依次连接的吸收塔、原料气换热器、变压吸附装置，原料气换热器与吸收塔还采用原料气管路连接；吸收塔采用液体管路依次连接吸附剂热交换器、脱洗塔，脱洗塔吸收塔还通过吸附剂管路连接。本实用新型尾气处理彻底，可获得99.99％的氢气和工业用HCI，经济效益显著，且不排放废气、废液。 | ||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 尾气 回收 装置 | ||
【主权项】：
一种三氯氢硅尾气回收装置，其特征是，包括采用气体管路依次连接的吸收塔、原料气换热器、变压吸附装置，原料气换热器与吸收塔还采用原料气管路连接；吸收塔采用液体管路依次连接吸附剂热交换器、脱洗塔，脱洗塔吸收塔还通过吸附剂管路连接。
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