[实用新型]浸洗槽有效

专利信息
申请号: 201020695508.5 申请日: 2010-12-31
公开(公告)号: CN202052722U 公开(公告)日: 2011-11-30
发明(设计)人: 王振荣;陈概礼;黄利松 申请(专利权)人: 上海新阳半导体材料股份有限公司
主分类号: B08B3/04 分类号: B08B3/04
代理公司: 上海脱颖律师事务所 31259 代理人: 李强
地址: 201616 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种浸洗槽,包括槽体,其特征在于,所述槽体底部设置有排水口,排水口处设置有可移动的堵头,所述堵头与驱动装置连接,驱动装置可驱动堵头移动以使堵头堵住排水口或打开排水口。本实用新型中的浸洗槽,在堵头快速打开排水口时,槽体内的液体可快速排出,在水快速排出过程中,会产生一定的负压吸力,将芯片表面附着的化学液体、杂质吸除。本实用新型利用虹吸原理,在液体快速排放的时候以高速、负压的状态将芯片表面的杂质、液体清洗干净。此结构简单,操作、维修方便,效率高,且容易制造。
搜索关键词: 浸洗
【主权项】:
浸洗槽,包括槽体,其特征在于,所述槽体底部设置有排水口,排水口处设置有可移动的堵头,所述堵头与驱动装置连接,驱动装置可驱动堵头移动以使堵头堵住排水口或打开排水口。
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