[实用新型]浸洗槽有效
申请号: | 201020695508.5 | 申请日: | 2010-12-31 |
公开(公告)号: | CN202052722U | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | 王振荣;陈概礼;黄利松 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强 |
地址: | 201616 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种浸洗槽,包括槽体,其特征在于,所述槽体底部设置有排水口,排水口处设置有可移动的堵头,所述堵头与驱动装置连接,驱动装置可驱动堵头移动以使堵头堵住排水口或打开排水口。本实用新型中的浸洗槽,在堵头快速打开排水口时,槽体内的液体可快速排出,在水快速排出过程中,会产生一定的负压吸力,将芯片表面附着的化学液体、杂质吸除。本实用新型利用虹吸原理,在液体快速排放的时候以高速、负压的状态将芯片表面的杂质、液体清洗干净。此结构简单,操作、维修方便,效率高,且容易制造。 | ||
搜索关键词: | 浸洗 | ||
【主权项】:
浸洗槽,包括槽体,其特征在于,所述槽体底部设置有排水口,排水口处设置有可移动的堵头,所述堵头与驱动装置连接,驱动装置可驱动堵头移动以使堵头堵住排水口或打开排水口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新阳半导体材料股份有限公司,未经上海新阳半导体材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201020695508.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。