[实用新型]高纯液化气体的输送装置无效
| 申请号： | 201020669064.8 | 申请日： | 2010-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN202024086U | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李东升;缪南山;效广涛 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高纯液化气体的输送装置，包括通过管道相连的钢瓶和蒸发器，其中，所述蒸发器置于水浴箱中，所述蒸发器为压力容器，内部设有导流筒，所述蒸发器的入口处设置有介质进口阀门，出口处设置有介质出口阀门，所述蒸发器底部设置排污阀门；所述水浴箱上安装有电热丝、数字温控仪表和液位计，所述水浴箱和自动补水装置相连。本实用新型提供的高纯液化气体的输送装置，通过设置水浴箱将液化气体引出钢瓶，使用水浴方式加热外接的蒸发器，使蒸发器内部的液化气体汽化、纯化后输送至使用端，从而有效地保证了输出气体的大流量、高纯度和系统的安全、稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯 液化 气体 输送 装置 | ||
【主权项】：
一种高纯液化气体的输送装置，包括通过管道相连的钢瓶和蒸发器（1），其特征在于：所述蒸发器（1）置于水浴箱（2）中，所述蒸发器（1）为压力容器，内部设有导流筒（3），所述蒸发器（1）的入口处设置有介质进口阀门（10），出口处设置有介质出口阀门（11），所述蒸发器（1）底部设置排污阀门（12）；所述水浴箱（2）上安装有电热丝（6）、数字温控仪表（7）和液位计（8），所述水浴箱（2）和自动补水装置（9）相连。
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