[实用新型]一种三氯氢硅尾气加压处理装置无效

专利信息
申请号: 201020651685.3 申请日: 2010-12-10
公开(公告)号: CN201807210U 公开(公告)日: 2011-04-27
发明(设计)人: 秦永红;张世斌;王良珣;陈建祥;赵建桥;张丽娜 申请(专利权)人: 河南尚宇新能源股份有限公司
主分类号: B01D5/00 分类号: B01D5/00;C01B33/107
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 454592 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型公开了一种三氯氢硅尾气加压处理装置,该装置包括缓冲罐、压缩机、换热器、5℃水冷凝器和-35℃盐水冷凝器,所述缓冲罐的出口和所述压缩机的进口与一换热器的壳程相连,所述换热器的管程与压缩机的出口和5℃水冷凝器的气相进口相连,5℃水冷凝器气相出口与-35℃盐水冷凝器气相进口相连。该装置的有益效果在于:一方面,不再有三氯氢硅冷凝液进入压缩机,延长了压缩机的使用寿命。另一方面,降低了后续冷凝的冷媒消耗。
搜索关键词: 一种 三氯氢硅 尾气 加压 处理 装置
【主权项】:
一种三氯氢硅尾气加压处理装置,包括缓冲罐、换热器、压缩机、5℃水冷凝器、 35℃盐水冷凝器,其特征在于:所述缓冲罐的出口和所述压缩机的进口与一换热器的壳程相连,所述换热器的管程与压缩机的出口和5℃水冷凝器的气相进口相连,5℃水冷凝器气相出口与 35℃盐水冷凝器气相进口相连。
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