[实用新型]一种三氯氢硅尾气加压处理装置无效
| 申请号: | 201020651685.3 | 申请日: | 2010-12-10 |
| 公开(公告)号: | CN201807210U | 公开(公告)日: | 2011-04-27 |
| 发明(设计)人: | 秦永红;张世斌;王良珣;陈建祥;赵建桥;张丽娜 | 申请(专利权)人: | 河南尚宇新能源股份有限公司 |
| 主分类号: | B01D5/00 | 分类号: | B01D5/00;C01B33/107 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 454592 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种三氯氢硅尾气加压处理装置,该装置包括缓冲罐、压缩机、换热器、5℃水冷凝器和-35℃盐水冷凝器,所述缓冲罐的出口和所述压缩机的进口与一换热器的壳程相连,所述换热器的管程与压缩机的出口和5℃水冷凝器的气相进口相连,5℃水冷凝器气相出口与-35℃盐水冷凝器气相进口相连。该装置的有益效果在于:一方面,不再有三氯氢硅冷凝液进入压缩机,延长了压缩机的使用寿命。另一方面,降低了后续冷凝的冷媒消耗。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 三氯氢硅 尾气 加压 处理 装置 | ||
【主权项】:
一种三氯氢硅尾气加压处理装置,包括缓冲罐、换热器、压缩机、5℃水冷凝器、 35℃盐水冷凝器,其特征在于:所述缓冲罐的出口和所述压缩机的进口与一换热器的壳程相连,所述换热器的管程与压缩机的出口和5℃水冷凝器的气相进口相连,5℃水冷凝器气相出口与 35℃盐水冷凝器气相进口相连。
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