[实用新型]非接触光学测量系统有效
| 申请号： | 201020645122.3 | 申请日： | 2010-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN201897466U | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 小坂春男 | 申请（专利权）人： | 小坂春男 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/14 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 马家骏 |
| 地址： | 200082 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种非接触光学测量系统，包括底座以及安装在底座上的XY工作台和立柱，立柱上安装有可上下移动的Z轴，Z轴上安装有可上下移动的支撑部，支撑部上设有目镜、物镜和LED照明系统，Z轴上安装有光栅尺，光栅尺的滑座与支撑部相连，支撑部上安装有切换部，切换部内设有至少两种十字标记，十字标记由上下两部分组成。其采用光学焦点位置检测方式进行非接触高低测量，不仅可以对准目标影像，还能观察测量点的表面状态、高度、深度、高低差等进行测量；效率高，测量精度高，测量准确，无随机误差，不会因个人差异导致测量数据存在偏差；非接触测量不使用时，可以切换掉十字标记，变为常用金相显微镜来用。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 光学 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种非接触光学测量系统，包括底座(1)以及安装在底座(1)上的XY工作台(2)和立柱(3)，立柱(3)上安装有可上下移动的Z轴(4)，Z轴(4)上安装有可上下移动的支撑部(5)，支撑部(5)上设有目镜(6)、物镜(7)和LED照明系统(8)，其特征在于：Z轴(4)上安装有光栅尺(9)，光栅尺(9)的滑座与支撑部(5)相连，支撑部(5)上安装有切换部(10)，切换部(10)内设有至少两种十字标记，十字标记由上下两部分组成。
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