[实用新型]一种研磨垫整理器有效
| 申请号： | 201020644155.6 | 申请日： | 2010-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN201913549U | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 周维娜;王林松;刘庚申;董天枢 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种研磨垫整理器，通过在调整头上设置通气口，在使用研磨垫整理器对研磨垫的表面进行打磨的同时，通气口中通入的气体吹向研磨垫沟槽，可使研磨垫沟槽底部的残留颗粒被吹至研磨垫的表面得到清理，从而可使研磨垫沟槽内的残留颗粒能够得到更为彻底的清理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 整理 | ||
【主权项】：
一种研磨垫整理器，包括活动臂和固定于活动臂一端的调整头，所述调整头包括：底层、位于底层之上的固定层以及在固定层上固定的散布的钻石颗粒，其特征在于，所述底层和固定层上还具有中空的用以通入气体的通气口。
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