[实用新型]立体研磨盘装置无效
| 申请号： | 201020632801.7 | 申请日： | 2010-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN201881263U | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 周翔;武建宏;桑浚之 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 张骥 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种立体研磨盘装置，包括一个六面立方体，六方体的六个面上分别设有不同的研磨盘，立方体的内部设有驱动马达。所述立体研磨盘装置设置于探针台的内部。本实用新型在使用过程中无需手动交换研磨盘，可以实现研磨盘的自动交换，减少人为参与，方便而且快速，实现自动化。 | ||
| 搜索关键词： | 立体 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种立体研磨盘装置，其特征在于：包括一个六面立方体，六方体的六个面上分别设有不同的研磨盘，立方体的内部设有驱动马达。
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