[实用新型]一种用于低水汽含量封装的除气充气设备

摘要

本实用新型涉及气密性封装领域，具体涉及一种用于低水汽含量封装的除气充气设备。其特点在于：由真空系统、工作系统、充气系统三部分组成的除气充气设备，能够在MEMS传感器封装前对零部件进行除气，通过监测与控制装置降低设备自身及零部件的水汽含量和残余气体；同时可以按照相应工艺要求控制充入工艺气体纯度和压强，进而满足器件封装后对内部水汽含量、工艺气体纯度和压强控制的要求。本实用新型可以保证微小型器件封装腔体内水汽含量小于500×10-6、工艺气体纯度高于99％、气压精度控制在±100Pa以内。

主权项

用于低水汽含量封装的除气充气设备，包括依次连接的真空系统(101)、工作系统(102)、充气系统(103)；真空系统(101)包括机械泵(1)、分子泵(3)、液氮冷阱(4)、真空计(6)和四个双通阀门(2、5、7、8)，机械泵(1)通过双通阀门(2)与分子泵(3)的一端连接，分子泵(3)的另一端与液氮冷阱(4)的一端连接、液氮冷阱(4)的另一端分别与双通阀门(7)、双通阀门(8)和真空计(6)连接，机械泵(1)还依次通过双通阀门(5)、双通阀门(7)分别与真空计(6)、液氮冷阱(4)、双通阀门(8)连接；工作系统(102)包括真空计(18)，以及与真空计(18)连接的若干路工作管路，每一路管路包括依次连接的三通阀门、双通阀门和密封罐；充气系统(103)包括并联的微调阀门(19)和双通阀门(20)，微调阀门(19)、双通阀门(20)均与露点仪(21)、真空计(23)和充气管路连接；充气管路包括依次连接的双通阀门(22)、储气罐(25)、双通阀门(27)、液氮冷阱(28)、加热装置(29)、气源(30)；储气罐(25)与露点仪(24)、真空计(26)连接；双通阀门(27)、液氮冷阱(28)之间安装有残余气体分析仪。