[实用新型]径向垂直度检测台无效
| 申请号： | 201020567692.5 | 申请日： | 2010-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN201811707U | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 林玉往;杨阳;赵建兴;王永平;吴伟忠;常青 | 申请（专利权）人： | 常州有则科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/245 | 分类号： | G01B5/245;G01B5/252 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 213022 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种径向垂直度检测台，用于光伏行业检测单晶圆棒的径向垂直度，它由底板(10)、转盘(11)、带刻度尺(2-1)的立柱(2)、深度测量尺(7)和分度表(8)组成，立柱(2)的下端具有底座(1)，该底座(1)固定在底板(10)上，转盘(11)可旋转地支撑在底板(10)上，深度测量尺(7)和分度表(8)可移动地安装在立柱(2)上，且深度测量尺(7)位于分度表(8)的下方。本实用新型既能保证单晶圆棒垂直精度，又能保证单晶圆棒对中精度，同时不需要二次检测圆跳动。 | ||
| 搜索关键词： | 径向 垂直 检测 | ||
【主权项】：
一种径向垂直度检测台，其特征在于：它由底板(10)、转盘(11)、带刻度尺(2 1)的立柱(2)、深度测量尺(7)和分度表(8)组成，立柱(2)的下端具有底座(1)，该底座(1)固定在底板(10)上，转盘(11)可旋转地支撑在底板(10)上，深度测量尺(7)和分度表(8)可移动地安装在立柱(2)上，且深度测量尺(7)位于分度表(8)的下方。
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