[实用新型]一种等离子刻蚀用硅片夹具

摘要

本实用新型涉及一种夹具，具体涉及一种在太阳能电池制作过程中的等离子刻蚀用硅片夹具。该夹具的夹板板面以及垫板设计为与硅片对应的圆角，并将上下夹板的固定端设置为背向远离夹持面，有效阻止了夹具对等离子刻蚀气体的阻挡与反射，避免了刻蚀效果不均匀的后果。

主权项

一种等离子刻蚀用硅片夹具，包括通过螺栓和螺母连接的上夹板和下夹板，以及位于上夹板和下夹板中间的垫板，其特征在于，所述的上夹板和下夹板板面以及垫板为正方形，四角为圆角；上夹板与下夹板的夹板固定端分别背向远离夹持面1 5厘米。