[实用新型]基板湿制程液体气泡去除装置有效
| 申请号： | 201020516275.8 | 申请日： | 2010-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN201783231U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 钟添达 | 申请（专利权）人： | 扬博科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D19/02 | 分类号： | B01D19/02 |
| 代理公司： | 北京华扬知识产权代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 王晔;于淑惠 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种基板湿制程液体气泡去除装置，其包括相连通的至少一气泡滤槽与一沉淀槽，所述气泡滤槽内设有滤棉，可先过滤掉混合液槽内的液体所含的大部分气泡，接着再在所述沉淀槽中使所述液体内剩余的气泡自然上浮，待彻底除去液体内气泡后，便可使近乎无气泡的液体经喷管对基板进行喷洒，确保液体对基板的显影、蚀刻或清洗等效果不会受到气泡的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 基板湿制程 液体 气泡 去除 装置 | ||
【主权项】：
一种基板湿制程液体气泡去除装置，其包括至少一气泡滤槽，其特征在于：所述气泡滤槽内部设有一滤棉，所述滤棉将所述气泡滤槽内部分隔为一上部空间及一下部空间，所述气泡滤槽顶部设有与所述上部空间相通的一液体输入口，气泡滤槽底部设有与所述底部空间相通的一液体输出口。
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