[实用新型]基于虚拟仪器的脉搏信号采集系统的传感器芯片有效

专利信息
申请号: 201020513747.4 申请日: 2010-08-26
公开(公告)号: CN201939336U 公开(公告)日: 2011-08-24
发明(设计)人: 刘发荣;潘观根 申请(专利权)人: 杭州天诚药业有限公司
主分类号: A61B5/021 分类号: A61B5/021
代理公司: 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 代理人: 陈继亮
地址: 311231 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及一种基于虚拟仪器的脉搏信号采集系统的传感器芯片,包括MOSFET器件栅,MOSFET器件栅内设有电介质,MOSFET器件栅下设有氮化硅薄膜,氮化硅薄膜下设有沟道,沟道两侧一边为漏极,另一边为源极,电介质中设有传感器电容,所述漏极和源极分别为P型掺杂和n型掺杂,沟道与源极内侧之间设有隧道结。本实用新型有益的效果是:应用量子隧穿效应,使传感器漏极输出电流增力100倍,并克服了容件的短沟道效应,避免了使用高K介质材料。
搜索关键词: 基于 虚拟仪器 脉搏 信号 采集 系统 传感器 芯片
【主权项】:
一种基于虚拟仪器的脉搏信号采集系统的传感器芯片,其特征是:包括MOSFET器件栅(2),MOSFET器件栅(2)内设有电介质(3),MOSFET器件栅(2)下设有氮化硅薄膜(4),氮化硅薄膜(4)下设有沟道(5),沟道(5)两侧一边为漏极(6),另一边为源极(7),电介质(3)中设有传感器电容(1),所述漏极(6)和源极(7)分别为P型掺杂和n型掺杂,沟道(5)与源极(7)内侧之间设有隧道结(8)。
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