[实用新型]一种推片器的石英舟升降装置有效
| 申请号： | 201020505619.5 | 申请日： | 2010-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN201868460U | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 朱道峰;高毅;庄甦;黄萍;王国华;周祖武;赵剑京;张洪建 | 申请（专利权）人： | 北京市塑料研究所 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人： | 朱黎光 |
| 地址： | 100009 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种推片器的石英舟升降装置，包括：转轴、椭圆转轮和控制所述转轴旋转的拨动装置；以及承载石英舟和硅片承载花篮的底座；其中，在所述底座对应石英舟放置的位置上设置有至少两排通孔和两排贯穿底座的空腔，空腔穿过所述通孔，转轴设置在空腔内，并且对应通孔的位置上设置有椭圆转轮。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 推片器 石英 升降 装置 | ||
【主权项】：
一种推片器的石英舟升降装置，其特征在于，包括：转轴、椭圆转轮和控制所述转轴旋转的拨动装置；以及承载石英舟和硅片承载花篮的底座；其中，在所述底座对应石英舟放置的位置上设置有至少两排通孔和两排贯穿底座的空腔，空腔穿过所述通孔，转轴设置在空腔内，并且对应通孔的位置上设置有椭圆转轮。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
