[实用新型]一种MOCVD设备及其反应室密封结构

摘要

本实用新型公开了一种MOCVD反应室密封结构，包括：水冷电极内外管套轴，其上设有供四个水冷电极外管穿过的四个套管安装孔以及热电偶安装孔，水冷电极内外管套轴套设在四个水冷电极外管上，石墨托盘转轴可转动的套设在水冷电极内外管套轴上；设置在石墨托盘转轴和水冷电极内外管套轴之间的内图磁流体；套装在石墨托盘转轴上并固定在机架安装板上的磁流体座；设置在石墨托盘转轴和磁流体座之间的外圈磁流体。本实用新型通过分别在石墨托盘转轴与水冷电极内外管套轴、石墨托盘转轴与磁流体座之间设置磁流体，实现密封。不需要用N2去实现反应室腔体内外的隔绝。本实用新型还公开了一种具有上述密封结构的MOCVD设备。

主权项

一种MOCVD反应室密封结构，该反应室包括石墨托盘组件及扣设在所述石墨托盘组件上的石英管，所述反应室内设有加热器组件，所述加热器组件通过设置在其下端的四个水冷电极供电，各个水冷电极分别连接有相互套装的水冷电极内管和水冷电极外管，四个水冷电极外管的外侧可转动的设置有与所述石墨托盘组件相连的石墨托盘转轴，其特征在于，包括：水冷电极内外管套轴，其上设有供所述四个水冷电极外管穿过的四个套管安装孔以及热电偶安装孔，所述水冷电极内外管套轴套设在所述四个水冷电极外管上，所述石墨托盘转轴可转动的套设在所述水冷电极内外管套轴上；设置在所述石墨托盘转轴和所述水冷电极内外管套轴之间的内圈磁流体；套装在所述石墨托盘转轴上并固定在机架安装板上的磁流体座；设置在所述石墨托盘转轴和所述磁流体座之间的外圈磁流体。