[实用新型]用于群体定向玻壳蒸镀设备的导电电极无效
| 申请号： | 201020271622.5 | 申请日： | 2010-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN201801579U | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 詹云翔 | 申请（专利权）人： | 詹云翔 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/18 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 | 代理人： | 王鹏举 |
| 地址： | 313216 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了用于群体定向玻壳蒸镀设备的导电电极，包括电极块及垂直设置在真空室的内壁上的导电柱，导电柱连接电源，并且导电柱与真空室内壁两者之间绝缘，在导电柱上固定套设有导电板三，导电板三的两端各连接有一条导电带，在导电板三的中心处固设有导向柱一，所述的电极块整体呈T形，所述的电极块包括与蒸镀托架侧部的电极板相接触的输入电极及与之垂直设置的导向柱二，在导向柱二上套设有导电板四，导电板四的两端分别与导电带相连，在导电板三与导电板四之间设有一弹簧，弹簧的一段套设在导向柱一上，弹簧的另一段套设在导向柱二上，并且导向柱一、弹簧均与导电板三绝缘。本实用新型的导电电极具有弹性，与蒸镀托架的电极板接触良好。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 群体 定向 玻壳蒸镀 设备 导电 电极 | ||
【主权项】：
用于群体定向玻壳蒸镀设备的导电电极，其特征是：包括电极块及垂直设置在真空室(1)的内壁上的导电柱(16)，导电柱(16)连接电源，并且导电柱(16)与真空室内壁两者之间绝缘，在导电柱(16)上固定套设有导电板三(17)，导电板三(17)的两端各连接有一条导电带(18)，在导电板三(17)的中心处固设有导向柱一(19)，所述的电极块整体呈T形，所述的电极块包括与蒸镀托架侧部的电极板相接触的输入电极(20)及与之垂直设置的导向柱二(21)，在导向柱二(21)上套设有导电板四(22)，导电板四(22)的两端分别与导电带(18)相连，在导电板三(17)与导电板四(22)之间设有一弹簧(23)，弹簧(23)的一段套设在导向柱一(19)上，弹簧(23)的另一段套设在导向柱二(21)上，并且导向柱一(19)、弹簧(23)均与导电板三(17)绝缘。
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