[实用新型]用于装卸法拉第系统的装置有效
| 申请号： | 201020261303.6 | 申请日： | 2010-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN201770768U | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 许鹖 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于装卸法拉第系统的装置，其特征在于，包括丝杠螺母机构，所述丝杠螺母机构包括传动丝杠和套设在所述传动丝杠上的传动螺母；滑杆，所述滑杆与所述传动丝杠延伸方向相同；底板，所述底板套设在所述滑杆上，所述传动螺母设置在所述底板上；托盘，所述托盘固设在所述底板上；电机，所述电机通过一对相互啮合的齿轮与所述传动丝杠连接。所述装置在安装和拆卸法拉第系统时，保护操作人员的人身安全，保护法拉第系统在拆卸和安装过程中不被损坏，并提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 装卸 法拉第 系统 装置 | ||
【主权项】：
一种用于装卸法拉第系统的装置，其特征在于，包括丝杠螺母机构，所述丝杠螺母机构包括传动丝杠和套设在所述传动丝杠上的传动螺母；滑杆，所述滑杆与所述传动丝杠延伸方向相同；底板，所述底板套设在所述滑杆上，所述传动螺母设置在所述底板上；托盘，所述托盘固设在所述底板上；电机，所述电机通过一对相互啮合的齿轮与所述传动丝杠连接。
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