[实用新型]带有真空装卸室的镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种带有真空装卸室的镀膜机，包括镀膜室，镀膜室连接有装卸室，装卸室与镀膜室之间设有通道，通道处设有隔离门；装卸室内设有吸热管输送机，还设有吸热管传送机械手；装卸室与镀膜室之间真空密封，装卸室和镀膜室分别设有单独的真空抽气口，装卸室的壁上设有装卸室门。装卸室可以容纳一批未镀膜的吸热管，并且在镀膜室镀膜的同时，通过抽真空系统将其抽至高真空，然后在维持真空的情况下，在装卸室和镀膜腔室之间传送吸热管，这样就可以防止大气进入镀膜室内，减少水蒸气对溅射膜层的污染，镀膜的质量和生产效率都大大提高。

主权项

一种带有真空装卸室的镀膜机，包括镀膜室，其特征在于，所述镀膜室连接有装卸室，所述装卸室与镀膜室之间设有通道，所述通道处设有隔离门；所述装卸室内设有吸热管输送机，还设有吸热管传送机械手；所述装卸室与镀膜室之间真空密封，所述装卸室和镀膜室分别设有单独的真空抽气口，所述装卸室的壁上设有装卸室门。