[实用新型]一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极有效
| 申请号： | 201020238918.7 | 申请日： | 2010-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN201746583U | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 祝宁 | 申请（专利权）人： | 合肥科烨电物理设备制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C16/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区长*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，电极的中间穿过一固定轴，在固定轴外套有外辊筒，将电极作为镀辊使用，所述外辊筒的两端分别固定设置轴承和轴承座，外辊筒通过轴承的带动围绕在固定轴外旋转，在所述固定轴上，和外辊筒构成的空间内设置永久磁体，用于建立所需的电场，产生等离子体。相邻两电极且作为镀辊之间，通电后，就可以产生一对持久的霍尔电流环(Hall current)形成实质上的阴极，完成相对已知镀膜方法。具有的有益效果是不仅提高了生产效率，而且一对阴极和磁场的存在，中子和离子温度接近室温，使得热能损失减到最少，在使用时电极作为镀辊具有更高的沉积率、较大的镀膜面积、较高附着率，可以连续过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 放电 离子源 柔性 材料 真空镀膜 电极 | ||
【主权项】：
一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，电极的中间穿过一固定轴，在固定轴外套有外辊筒，将电极作为镀辊使用，其特征在于：所述外辊筒的两端分别固定设置轴承和轴承座，外辊筒通过轴承的带动围绕在固定轴外旋转，在所述固定轴上，和外辊筒构成的空间内设置永久磁体，用于建立所需的电场，产生等离子体。
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