[实用新型]还原炉进料控制系统有效
申请号: | 201020220210.9 | 申请日: | 2010-06-03 |
公开(公告)号: | CN201670895U | 公开(公告)日: | 2010-12-15 |
发明(设计)人: | 赵建;潘宇辉;盛斌;陆建旻 | 申请(专利权)人: | 江苏双良锅炉有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人: | 唐纫兰 |
地址: | 214444 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种还原炉进料控制系统,属于多晶硅的生产设备技术领域。所述系统包括还原炉底盘(1)、硅棒(2)、进料口(3)、压缩空气控制阀组(04)和PLC控制盘(05),所述硅棒(2)和进料口(3)在还原炉底盘(1)上布置成三圈,每一进料口(3)分别通过一路进料支管与混合气体(01)相连,在每一路进料支管上均加装有一只进料控制阀,各进料控制阀均与压缩空气控制阀组(04)相连,压缩空气控制阀组(04)通过管路与压缩空气(02)相连通,该管路上加装有气源调节装置(03),所述PLC控制盘(05)通过控制信号与压缩空气控制阀组(04)相连。本实用新型能够实现自动、分圈进料和编程控制,为硅棒生长提供最佳环境。 | ||
搜索关键词: | 还原 进料 控制系统 | ||
【主权项】:
一种还原炉进料控制系统,其特征在于所述系统包括还原炉底盘(1)、硅棒(2)、进料口(3)、压缩空气控制阀组(04)和PLC控制盘(05),所述硅棒(2)和进料口(3)在还原炉底盘(1)上布置成三圈,每一进料口(3)分别通过一路进料支管与混合气体(01)相连,在每一路进料支管上均加装有一只进料控制阀,各进料控制阀均与压缩空气控制阀组(04)相连,压缩空气控制阀组(04)通过管路与压缩空气(02)相连通,该管路上加装有气源调节装置(03),所述PLC控制盘(05)通过控制信号与压缩空气控制阀组(04)相连。
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