[实用新型]一种用于大型真空腔体批量真空检漏的系统有效

专利信息
申请号: 201020195201.9 申请日: 2010-05-19
公开(公告)号: CN201724796U 公开(公告)日: 2011-01-26
发明(设计)人: 张志成;徐磊;唐建强;阮根才;李天普;戴永成 申请(专利权)人: 杭州大和热磁电子有限公司
主分类号: G01M3/34 分类号: G01M3/34
代理公司: 杭州天正专利事务所有限公司 33201 代理人: 王兵;黄美娟
地址: 310053 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种用于大型真空腔体批量真空检漏的系统,包括真空检漏仪,所述真空检漏仪并接有真空粗抽泵,所述真空检漏仪与所述粗抽泵均连接在用于获得真空系统粗抽时的真空度动态数据的真空托表上,所述真空托表的另一侧与检测产品连接。本实用新型的有益效果:1、系统实现了几个产品同时粗抽,针对批量的大型真空产品漏率检测,大大缩短了检测时间;发生异常漏率时,也可通过阀门控制接入系统的产品,一一确认;2、通过真空托表获得系统的动态真空度数据;3、该系统先对产品进行粗抽,相对净化了产品中的空气,使其达到高精度检漏仪要求的洁净度,使检漏仪保持灵敏状态;延长检漏仪的使用寿命。
搜索关键词: 一种 用于 大型 空腔 批量 真空 检漏 系统
【主权项】:
一种用于大型真空腔体批量真空检漏的系统,包括真空检漏仪,其特征在于:所述真空检漏仪并接有真空粗抽泵,所述真空检漏仪与所述粗抽泵均连接在用于获得真空系统粗抽时的真空度动态数据的真空托表上,所述真空托表的另一侧与检测产品连接。
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