[实用新型]一种范德堡电阻的测试电路有效
申请号: | 201020192158.0 | 申请日: | 2010-05-11 |
公开(公告)号: | CN201732122U | 公开(公告)日: | 2011-02-02 |
发明(设计)人: | 马万里;赵文魁 | 申请(专利权)人: | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
主分类号: | G01R27/08 | 分类号: | G01R27/08;H01L21/66 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100871 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体芯片测试领域,特别涉及一种范德堡电阻的测试电路,用以解决现有技术中由于与待测实体连接的两个测量端之间的走线电阻较大,使得待测实体电阻测试结果精确度不高的问题。本实用新型实施例范德堡电阻的测试电路包括:与待测实体连接的第一测量端(103)、与待测实体连接的第二测量端(104)、连接待测实体和第一测量端(103)的第一走线(11)、连接待测实体和第二测量端(104)的第二走线(12)。其中,第一走线(11)和/或第二走线(12)包括至少两条并联的导线。采用本实用新型,降低了被测端之间的走线电阻,提高了待测实体电阻测试结果的精确度。 | ||
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【主权项】:
一种范德堡电阻的测试电路,其特征在于,包括:与待测实体连接的第一测量端(103)、与待测实体连接的第二测量端(104)、连接待测实体和第一测量端(103)的第一走线(11)、连接待测实体和第二测量端(104)的第二走线(12);其中,所述第一走线(11)包括至少两条并联的导线;和/或所述第二走线(12)包括至少两条并联的导线。
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