[实用新型]放置酸液的水箱有效
| 申请号： | 201020165918.9 | 申请日： | 2010-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN201678194U | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 李广宁 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B65D85/84 | 分类号： | B65D85/84;B65D25/38 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种放置酸液的水箱，包括：入液口，出液口以及主箱体，所述出液口一体设置在主箱体底部；所述主箱体由聚四氟乙烯材料制成，所述入液口一体设置在主箱体顶部，所述主箱体底部具有向外凸起的弧度。通过所述主箱体与出液口的一体设置，避免了水箱在长时间使用后酸液泄漏到外部而污染整个化学电镀设备，同时保证了酸液进行晶圆洗边时的剂量，避免了由于管路内混进空气而导致晶圆洗边不彻底，造成化学机械研磨制程之后无法读出芯片刻号，甚至芯片直接报废的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 放置 水箱 | ||
【主权项】：
一种放置酸液的水箱，包括：入液口，出液口以及主箱体，其特征在于，所述出液口一体设置在主箱体底部。
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