[实用新型]智能多组分动态配气装置

摘要

本实用新型公开了一种智能多组分动态配气装置，包括多个质量流量控制器、气体混合器、及智能控制装置；质量流量控制器的出口分别与气体混合器的进气通道一一连通；智能控制装置包括控制电路板和计算机，控制电路板上集成有微处理器、供电电路、总线转换电路。本实用新型配气时只需在人机界面进行简单的操作，不但可以随时变更配气浓度，还可以很方便地改变组分气体，快速、便捷配制出各种不同种类不同浓度的单组分气体或多组分混合气体，且可随用随配、操作简便。本实用新型的推广可解决现有配气方法操作复杂，劳动强度大，原料气和稀释气体用量大，耗时多，随机误差和累积误差大等问题。

主权项

智能多组分动态配气装置，包括多个质量流量控制器，其特征在于：还包括有气体混合器，以及智能控制装置；所述气体混合器为带有多个进气通道和出气通道的密封体，所述质量流量控制器的出口分别与气体混合器的进气通道一一连通；所述智能控制装置包括控制电路板和计算机，所述控制电路板上集成有微处理器、供电电路、总线转换电路；所述供电电路包括有相互电连接的滤波电路和DC/DC电路，所述滤波电路的输入端与外部电源电连接引入电压，所述滤波电路上有多个输出端分别与所述质量流量控制器的电源端一一电连接以供电，所述DC/DC电路的输出端与微处理器的电源接口电连接以供电；所述总线转换电路包括彼此电连接的USB转485电路和485转SCI电路，所述485转SCI电路信号端分别与微处理器的总线接口、质量流量控制器的通讯接口电连接，所述USB转485电路的信号端与计算机的USB接口电连接。