[实用新型]硅烷制备装置无效
| 申请号： | 201020134183.3 | 申请日： | 2010-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN201686494U | 公开（公告）日： | 2010-12-29 |
| 发明（设计）人： | 李中元 | 申请（专利权）人： | 天津市泰亨气体有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 天津市杰盈专利代理有限公司 12207 | 代理人： | 李凤林 |
| 地址： | 300385 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅烷制备装置，主要由液氨计量槽、过滤器、硅烷发生器、回流洗涤柱、冷凝器、流量计、螺旋送料器、减速器、下料斗、上料斗、机械真空泵、氮气钢瓶、水力真空泵、放空管、水封池按其系统功能通过其中间连接的阀门的连接管线组装一体而构成。设计合理，使用方便，是理想的粗硅烷制备装置。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种硅烷制备装置，其特征在于：液氨计量槽、过滤器、硅烷发生器、回流洗涤柱、冷凝器、流量计、螺旋送料器、减速器、下料斗、上料斗、机械真空泵、氮气钢瓶、水力真空泵、放空管、水封池通过其中间连接的阀门的连接管线组装一体而构成。
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