[实用新型]一种吸盘式取硅片机构有效
| 申请号: | 201020132271.X | 申请日: | 2010-02-10 |
| 公开(公告)号: | CN201626710U | 公开(公告)日: | 2010-11-10 |
| 发明(设计)人: | 王燕清 | 申请(专利权)人: | 无锡先导自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | B65G47/91 | 分类号: | B65G47/91;B65G47/06 |
| 代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 殷红梅 |
| 地址: | 214028 江苏省无锡市新区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本实用新型涉及一种吸盘式取硅片机构,其包括机架、安装在机架上的升降装置、移动式吸盘装置和硅片输送装置;机架上设有上台板和下台板;升降装置安装在下台板上,升降装置左右各有一个,用于将叠放在一起的硅片按指定距离抬升;移动式吸盘装置安装在上台板上,移动式吸盘装置与升降装置相对应,用于左右交替地吸取升降装置上的硅片,并交替地将硅片放置在硅片输送装置上;硅片输送装置安装在下台板上,硅片输送装置设置在左右两个升降装置的中间,用于将移动式吸盘装置吸取的硅片输送出。本实用新型结构简单、巧妙合理;自动化程度及取片效率高,能保证输出的硅片间隔相等、方向一致、排列整齐;硅片损坏率低。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 吸盘 硅片 机构 | ||
【主权项】:
一种吸盘式取硅片机构,其特征在于包括机架(9)、安装在机架(9)上的升降装置、移动式吸盘装置和硅片输送装置;机架(9)上设有上台板(4)和下台板(13);升降装置安装在机架(9)下台板(13)上,升降装置左右各有一个,用于将叠放在一起的硅片(11)按指定距离抬升;移动式吸盘装置安装在上台板(4)上,移动式吸盘装置与升降装置相对应,用于左右交替地吸取升降装置上的硅片(11),并交替地将硅片(11)放置在硅片输送装置上;硅片输送装置安装在下台板(13)上,硅片输送装置设置在左右两个升降装置的中间,用于将移动式吸盘装置吸取的硅片(11)输送出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡先导自动化设备有限公司,未经无锡先导自动化设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201020132271.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:塞杆
- 下一篇:具有平板式热交换单元的化学反应器





