[实用新型]用于SRP系统研磨机的夹具无效
| 申请号： | 201020036332.2 | 申请日： | 2010-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN201619013U | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 赖华平;时俊亮 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/00 | 分类号： | B24B9/00;B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 张骥 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于SRP系统研磨机的夹具，包括套筒、研磨座、研磨头；研磨座设置于套筒内，研磨座底部设置研磨头；所述套筒的外表面套设有橡胶层。本实用新型能够获得有平滑斜面的扩展电阻测试用样品，通过该样品测试得到的电阻率和载流子浓度及其深度曲线或数据更加平滑和可靠，确保了测量数据的精确度和重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 srp 系统 研磨机 夹具 | ||
【主权项】：
一种用于SRP系统研磨机的夹具，包括套筒、研磨座、研磨头；研磨座设置于套筒内，研磨座底部设置研磨头；其特征在于：所述套筒的外表面套设有橡胶层。
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