[实用新型]双轴MEMS陀螺仪无效
| 申请号： | 201020033300.7 | 申请日： | 2010-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN201653422U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 邹波;华亚平 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;B81B7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市张江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双轴MEMS陀螺仪，双轴MEMS陀螺仪包括底部晶圆、顶部晶圆和MEMS晶圆，底部晶圆上有第一层氧化硅和底部空腔，第一层氧化硅上依次设有第一层金属和第二层氧化硅，第二层氧化硅上有第二层金属密封环和第二层金属导电块，顶部晶圆上有顶部空腔和第三层氧化硅，MEMS晶圆与顶部晶圆键合在一起，第二层金属密封环、第二层金属导电块与MEMS晶圆键合在一起。该双轴陀螺仪的面积小且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 双轴 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
一种双轴MEMS陀螺仪，其特征在于，双轴MEMS陀螺仪包括底部晶圆、顶部晶圆和MEMS晶圆，底部晶圆上有第一层氧化硅和底部空腔，第一层氧化硅上依次设有第一层金属和第二层氧化硅，第二层氧化硅上有第二层金属密封环和第二层金属导电块，顶部晶圆上有顶部空腔和第三层氧化硅，MEMS晶圆与顶部晶圆键合在一起，第二层金属密封环、第二层金属导电块与MEMS晶圆键合在一起。
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