[发明专利]纳米碳管复合材料及其制作方法无效
| 申请号： | 201010622734.5 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102534544A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 陈建仲 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/02;C23C16/44;C30B29/02;C30B29/62;C30B25/00;C01B31/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种纳米碳管复合材料及其制作方法，包括：提供一基板；形成一金属催化剂层于基板上；于一反应室中通入反应气体，并施加负偏压，以于基板上成长多个纳米碳管；及于反应室中施加正偏压，以于上述纳米碳管上成长纳米碳薄片。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 复合材料 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种纳米碳管复合材料的制作方法，包括：提供一基板；形成一金属催化剂层于该基板上；于一反应室中通入反应气体，并施加负偏压，以于该基板上成长多个纳米碳管；及于该反应室中施加正偏压，以于这些纳米碳管上成长纳米碳薄片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于财团法人工业技术研究院，未经财团法人工业技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010622734.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
