[发明专利]快速热退火方法无效
| 申请号： | 201010607697.0 | 申请日： | 2010-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN102560682A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 周祖源;孟昭生 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;H01L21/02;H01L21/324 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮;李辰 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种快速热退火方法，该方法包括：低温台阶阶段，设置边缘区域的灯管功率大于中心区域的灯管功率；升温阶段，设置边缘区域的灯管功率小于中心区域的灯管功率；降温阶段，设置边缘区域的灯管功率大于中心区域的灯管功率。本发明所提供的方法，根据边缘区域和中心区域辐射放热和辐射吸热特性的不同，在各个阶段设置边缘区域和中心区域具有不同的灯管功率，从而使得晶片边缘区域和中心区域具有大致相同的温度，提高了晶片的温度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 退火 方法 | ||
【主权项】：
一种快速热退火方法，其特征在于，包括：低温台阶阶段，设置边缘区域的灯管功率大于中心区域的灯管功率；升温阶段，设置边缘区域的灯管功率小于中心区域的灯管功率；降温阶段，设置边缘区域的灯管功率大于中心区域的灯管功率。
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