[发明专利]主动减振系统及其减振单元和绝对位移测量装置

摘要

本发明提供一种采用绝对位移反馈的主动减振系统，用以实现对负载主动减振，包括：至少三个减振单元，以实现对所述负载的六自由度的主动减振，所述减振单元上设置有绝对位移测量装置，所述绝对位移测量装置实时检测所述负载的绝对位移；减振控制单元，与所述至少三个减振单元分别连接，所述减振控制单元根据所述绝对位移实现主动反馈控制。本发明中所述采用绝对位移反馈的主动减振系统具有以下优点：采用空气弹簧结合直线执行器进行主动减振，并采用绝对位移反馈技术，能有效提高减振系统减振性能；并采用绝对位移反馈技术，能有效提高减振系统位置环带宽，提高减振系统的位置稳定性具有使用方便，体积较小、成本较低的优点。

主权项

一种采用绝对位移反馈的主动减振系统，用以实现对负载主动减振，其特征在于，包括：至少三个减振单元，以实现对所述负载的六自由度的主动减振；绝对位移测量装置，设置在所述减振单元上，实时检测所述负载的绝对位移；传感器组，设置在所述减振单元上；及减振控制单元，与所述减振单元连接，所述减振控制单元根据所述绝对位移和所述传感器组的信号实现主动减振控制。